如果能確定污染物種類(lèi)，就可以對(duì)活性炭材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理，以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應(yīng)商有時(shí)還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù)，以幫助用戶(hù)確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過(guò)濾的專(zhuān)家，并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。遺憾的是，國(guó)內(nèi)過(guò)濾器廠(chǎng)商沒(méi)有幾家在那上面下功夫，所以國(guó)內(nèi)芯片廠(chǎng)目前使用的化學(xué)過(guò)濾器多數(shù)是進(jìn)口產(chǎn)品。半導(dǎo)體工業(yè)并非人們普遍認(rèn)為的“無(wú)煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問(wèn)題。那里經(jīng)常采用新的工藝和材料，有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評(píng)估前就已經(jīng)大量使用了，稍不小心就會(huì)造成嚴(yán)重的化學(xué)污染，既有地下水污染，也有空氣污染，硅谷就曾為此付出過(guò)驚人的代價(jià)。為了保險(xiǎn)，有些企業(yè)在排風(fēng)系統(tǒng)中也使用化學(xué)過(guò)濾器。

中國(guó)正處在新一輪芯片廠(chǎng)建設(shè)的狂熱中，為此，今后幾年國(guó)內(nèi)需要數(shù)億元的高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器，以配套半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，這是一個(gè)挑戰(zhàn)，也是一個(gè)契機(jī)。

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