碳化硅陶瓷是近年發展的新材料。它具有很低的摩擦因數，很高的硬度，良好的耐磨性。它具有良好的化學穩定性、耐熱性和抗熱振性。耐腐蝕泵的機械密封常用材料。
碳化硅有反應燒結碳化硅、常壓燒結碳化硅和熱壓碳化硅。
國產碳化硅的性能
 
性能    反應燒結碳化硅    熱壓碳化硅       
密度/gNaN-3
孔隙率/%
抗彎強度/MPa
抗壓強度/MPa
抗拉強度/MPa
抗沖擊強度/MPa
彈性模量/MPa
摩擦因數
硬度(HRA)
熱膨脹系數/℃-1
熱導率/W·(m·K)-1
電阻率(200℃)/Ω·cm
(700℃)/Ω·cm    2.5～2.6
13～16
196.13
1176.8
117.68～137.29
0.15～0.2
(1.670～2.16)×105
0.1
80～85
2.5×10-6
5.02
1018
108    3.13
<1
688.47～784.52
1569.1
-
0.39
-
-
91～92
(2.7～2.8)×10-6
    
硬質合金。硬質合金主要是碳化鎢WC，分別有鈷基碳化鎢WC-Co、鎳基碳化鎢WC-Ni和鈷-鎳基碳化鎢WC-Co-Ni。碳化鎢的特點：硬度高，耐磨性好；機械強度高，抗彎性好；導熱率較高而膨脹系數較小，密封面摩擦熱容易導出；無鈷硬質合金耐腐蝕性較好。在耐腐蝕泵領域基本上都是碳化硅的機械密封，抗腐蝕性比較。
 
機械密封
材料    密度/gNaN-3    抗彎強度/MPa    彈性模量/MPa    熱膨脹系數/℃-1    硬度(HRA)    熱導率/W·(m·K)-1       
熱壓SiC    3.1～3.2    441.3～539.37    3.92×105    4.5×10-6    93～94    83.74       
常壓燒結SiC    3.0～3.10    372.65～451.11    4.07×105    4.3×10-6    91～92    92.11       
反應燒結SiC    3.05    343.23～362.85    3.33×105    4.3×10-6    91～92    125.6    
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